IP
NowTo 智財通
EN
首頁
/
專利資訊
靜電吸附裝置
安內華股份有限公司
申請案號
092116431
公告號
200405443
申請日期
2003-06-17
申請人
安內華股份有限公司
發明人
水野茂
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
查看申請人公司資訊
本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。
拒絕
接受
×
靜電吸附裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通