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專利資訊
半導體裝置之製造方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092116648
公告號
200408005
申請日期
2003-06-19
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
神力博
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/314
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