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能量輔助原子層沉積和移除膜之方法

艾斯摩美國股份有限公司

申請案號
092116853
公告號
200500491
申請日期
2003-06-20
申請人
艾斯摩美國股份有限公司
發明人
奧伯瑞 赫姆斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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能量輔助原子層沉積和移除膜之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通