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專利資訊
用以偵測基材之呈角度排列的感應器
應用材料股份有限公司
申請案號
092116903
公告號
200404149
申請日期
2003-06-20
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
栗田伸一
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B11/00
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用以偵測基材之呈角度排列的感應器 - 專利資訊 | NowTo 智財通