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專利資訊
聚合組成物、聚合物、光阻及微影方法
億恆科技股份公司
申請案號
092117184
公告號
200403525
申請日期
2003-06-24
申請人
億恆科技股份公司
發明人
克勞斯 艾里安
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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