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專利資訊
將相異移除速率應用到基底表面的方法與裝置
科林研發股份有限公司
申請案號
092117366
公告號
200401360
申請日期
2003-06-26
申請人
科林研發股份有限公司
發明人
葉爾 蓋奇
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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