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專利資訊
多橢球電漿設備
財團法人工業技術研究院
申請案號
092117461
公告號
200501832
申請日期
2003-06-26
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
黃文亮
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05H1/00
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