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具有回應數種頻率的電極之電漿處理器

蘭研究公司

申請案號
092117472
公告號
200402251
申請日期
2003-06-26
申請人
蘭研究公司
發明人
法西 法希帝
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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具有回應數種頻率的電極之電漿處理器 - 專利資訊 | NowTo 智財通