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專利資訊
電漿反應器之產量增進熱噴塗含氧化釔塗層
藍姆研究公司
申請案號
092117669
公告號
200412827
申請日期
2003-06-27
申請人
藍姆研究公司
發明人
羅伯特J 歐多納爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05H1/00
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