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專利資訊
去除金屬氧化物的方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092117877
公告號
200501271
申請日期
2003-06-30
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
楊智鈞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3213
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