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專利資訊
微影系統的照明系統中所用的中繼透鏡
ASML控股公司
申請案號
092118620
公告號
200500819
申請日期
2003-07-08
申請人
ASML控股公司
發明人
雷夫 利茲科夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/207
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