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基板支撐搬移用把持件及利用該把持件之基板支撐搬移方法

三菱電機股份有限公司

申請案號
092118672
公告號
200411807
申請日期
2003-07-09
申請人
三菱電機股份有限公司
發明人
坂本研一郎
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/68
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基板支撐搬移用把持件及利用該把持件之基板支撐搬移方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通