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專利資訊
正面吸附式晶圓擷取手臂吹氣裝置
國家中山科學研究院
申請案號
092118703
公告號
200503141
申請日期
2003-07-09
申請人
國家中山科學研究院
發明人
王偉正
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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