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單結晶半導體之製造方法以及單結晶半導體之製造裝置

ＳＵＭＣＯ　ＴＥＣＨＸＩＶ股份有限公司

申請案號
092118822
公告號
200415267
申請日期
2003-07-10
申請人
ＳＵＭＣＯ　ＴＥＣＨＸＩＶ股份有限公司
發明人
前田進
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C30B15/14
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