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金屬矽化物與其製造方法與半導體元件的製造方法

旺宏電子股份有限公司

申請案號
092118825
公告號
200503082
申請日期
2003-07-10
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
劉宏偉
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/265
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金屬矽化物與其製造方法與半導體元件的製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通