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專利資訊
利用電場之用於壓印微影術的方法及系統
分子壓模公司
申請案號
092118873
公告號
200405138
申請日期
2003-07-10
申請人
分子壓模公司
發明人
思蓋塔V 史瑞尼瓦森
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/00
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