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專利資訊
含導電聚合物之研磨組合物
卡博特微電子公司
申請案號
092119139
公告號
200408495
申請日期
2003-07-14
申請人
卡博特微電子公司
發明人
伊薩克K 卻里恩
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24B1/00
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