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專利資訊
具有標靶移動之電漿植入系統及方法
維瑞安半導體設備公司
申請案號
092119374
公告號
200405767
申請日期
2003-07-16
申請人
維瑞安半導體設備公司
發明人
史帝芬R 瓦瑟
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05H1/00
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