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晶圓基座及使用該晶圓基座之電漿製程

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092119503
公告號
200504912
申請日期
2003-07-17
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
宋享金
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/68
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