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專利資訊
摻雜硼/碳/氮/氧之濺鍍標靶之製作
賀利氏公司
申請案號
092119551
公告號
200422416
申請日期
2003-07-17
申請人
賀利氏公司
發明人
章文中
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/34
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