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專利資訊
粒子排除裝置及排除粒子的方法
夏普股份有限公司
申請案號
092119552
公告號
200414294
申請日期
2003-07-17
申請人
夏普股份有限公司
發明人
佐佐木博司
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/02
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