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專利資訊
研磨液以及研磨方法
日立化成工業股份有限公司
申請案號
092120053
公告號
200405453
申請日期
2003-07-23
申請人
日立化成工業股份有限公司
發明人
深澤正人
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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