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專利資訊
切割基板上薄膜的方法
遠東技術學院
申請案號
092120306
公告號
200504853
申請日期
2003-07-25
申請人
遠東技術學院
發明人
王振興
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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