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繞射光學元件、折射光學元件、照明光學裝置、曝光裝置及曝光方法

尼康股份有限公司

申請案號
092120384
公告號
200406647
申請日期
2003-07-25
申請人
尼康股份有限公司
發明人
後藤明弘
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/20
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