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用於離子植入系統的離子源和同軸感應耦合器
艾克塞利斯科技公司
申請案號
092120788
公告號
200423179
申請日期
2003-07-30
申請人
艾克塞利斯科技公司
發明人
維特 班威尼斯特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01J27/06
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