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專利資訊
晶圓研磨定位環
瑞耘科技股份有限公司
申請案號
092120835
公告號
200504854
申請日期
2003-07-30
申請人
瑞耘科技股份有限公司
發明人
彭朋益
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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