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基板支承用槽棒及使用該槽棒之基板載具

沛鑫能源科技股份有限公司

申請案號
092121175
公告號
200506436
申請日期
2003-08-01
申請人
沛鑫能源科技股份有限公司
發明人
黃俊凱
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G02F1/13
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