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專利資訊
低溫矽化物形成材料及自其形成之濺鍍靶
哈尼威爾國際公司
申請案號
092121499
公告號
200407443
申請日期
2003-08-06
申請人
哈尼威爾國際公司
發明人
麥克E 湯瑪斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/06
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