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用於內連線形成的銅電沉積槽中之不可溶陽極環

應用材料股份有限公司

申請案號
092121579
公告號
200413573
申請日期
2003-08-06
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
尼可雷Y 柯華斯基
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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用於內連線形成的銅電沉積槽中之不可溶陽極環 - 專利資訊 | NowTo 智財通