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一種研磨基材的方法與適用於該方法之具有窗口的研磨墊及其製造方法

應用材料股份有限公司

申請案號
092121926
公告號
200408496
申請日期
2003-08-08
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
安德魯斯諾伯威斯衛瑟
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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一種研磨基材的方法與適用於該方法之具有窗口的研磨墊及其製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通