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專利資訊
控制一凹槽蝕刻製程的方法
泛林股份有限公司
申請案號
092122018
公告號
200405501
申請日期
2003-08-11
申請人
泛林股份有限公司
發明人
安德魯 佩瑞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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