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離子束入射角偏移之檢測設備及方法

茂德科技股份有限公司

申請案號

092122062

公告號

200506321

申請日期

2003-08-12

申請人

茂德科技股份有限公司

發明人

許恆凱

資料更新日

2026-04-04

IPC 分類

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