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製備一薄層的方法,該方法包含一藉由犧牲氧化及一相關機器以矯正厚度的步驟
斯歐埃技術公司
申請案號
092122092
公告號
200414392
申請日期
2003-08-12
申請人
斯歐埃技術公司
發明人
葛布諾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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