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溫度控制被檢查體的探針裝置及探針檢查方法

東京威力科創股份有限公司

申請案號
092122403
公告號
200406862
申請日期
2003-08-14
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
杉山雅彥
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/66
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