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高介電常數金屬氧化物的原子層沈積

艾斯摩美國股份有限公司

申請案號
092122540
公告號
200408323
申請日期
2003-08-15
申請人
艾斯摩美國股份有限公司
發明人
李相忍
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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高介電常數金屬氧化物的原子層沈積 - 專利資訊 | NowTo 智財通