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改良具有ＳｉＧｅ膜之半導體基板的方法與使用該方法所製造之半導體裝置

夏普股份有限公司

申請案號
092122556
公告號
200407977
申請日期
2003-08-15
申請人
夏普股份有限公司
發明人
吉田彰
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/20
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改良具有ＳｉＧｅ膜之半導體基板的方法與使用該方法所製造之半導體裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通