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專利資訊
薄膜厚度映射方法及裝置
超奈斯公司
申請案號
092122833
公告號
200409263
申請日期
2003-08-20
申請人
超奈斯公司
發明人
克齊茨多夫 J 科薩塞克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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