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決定化學機械研磨的過渡研磨時間的方法
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
申請案號
092123027
公告號
200509233
申請日期
2003-08-21
申請人
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
發明人
陳國慶
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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