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專利資訊
用於光學光罩護膜系統的排氣
微相科技股份有限公司
申請案號
092123259
公告號
200405956
申請日期
2003-08-25
申請人
微相科技股份有限公司
發明人
王青柏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F1/00
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