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專利資訊
微影投射裝置及使用在該裝置中之反射器組件
ASML荷蘭公司
申請案號
092123295
公告號
200416492
申請日期
2003-08-25
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
法蘭克 捷羅 派特 史古曼斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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