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微影投射裝置及使用在該裝置中之反射器組件

ASML荷蘭公司

申請案號
092123295
公告號
200416492
申請日期
2003-08-25
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
法蘭克 捷羅 派特 史古曼斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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