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專利資訊
微影設備,裝置製造方法,及其所製造之裝置
ASML荷蘭公司
申請案號
092123572
公告號
200410052
申請日期
2003-08-27
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
孔 范 隱甘 斯齊納
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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