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專利資訊
即時偵測在半導體製程中晶圓表面膜顏色異常的方法及其裝置
南亞科技股份有限公司
申請案號
092123882
公告號
200509279
申請日期
2003-08-29
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
陳志焜
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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