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專利資訊
退火晶圓之硼污染消滅方法
三菱住友矽晶股份有限公司
申請案號
092123975
公告號
200406848
申請日期
2003-08-29
申請人
三菱住友矽晶股份有限公司
發明人
裴昭益
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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