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專利資訊
流動型薄膜沉積設備及其注射器組件
圓益IPS股份有限公司
申請案號
092124314
公告號
200414311
申請日期
2003-09-03
申請人
圓益IPS股份有限公司
發明人
朴永薰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
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