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利用晶向取決非等向蝕刻於矽＜１１０＞晶圓上之薄膜體聲波諧振器之製造

英特爾公司

申請案號
092124867
公告號
200425550
申請日期
2003-09-09
申請人
英特爾公司
發明人
王力鵬
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L41/00
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利用晶向取決非等向蝕刻於矽＜１１０＞晶圓上之薄膜體聲波諧振器之製造 - 專利資訊 | NowTo 智財通