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專利資訊
化學放大型正光阻組成物
住友化學工業股份有限公司
申請案號
092124972
公告號
200408907
申請日期
2003-09-10
申請人
住友化學工業股份有限公司
發明人
高田佳幸
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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