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專利資訊
固載室最佳化方法與系統
瓦里安半導體設備聯合公司
申請案號
092125020
公告號
200406049
申請日期
2003-09-10
申請人
瓦里安半導體設備聯合公司
發明人
艾凡斯 摩根D
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L23/34
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