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自表面移除粒子之清除方法，清除裝置及微影投影裝置

ＡＳＭＬ荷蘭公司

申請案號
092125035
公告號
200410764
申請日期
2003-09-10
申請人
ＡＳＭＬ荷蘭公司
發明人
海倫思　哲　詹
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

B08B5/00
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自表面移除粒子之清除方法，清除裝置及微影投影裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通