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產生光罩之方法及電腦程式產品及所產生之光罩,器件製造方法及所製造之器件及印刷圖案之方法
ASML荷蘭公司
申請案號
092125046
公告號
200422795
申請日期
2003-09-10
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
道格拉司 范 但 婆客
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F9/00
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