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專利資訊
矽單結晶拉晶裝置之熱遮蔽組件
三菱住友矽晶股份有限公司
申請案號
092125144
公告號
200404922
申請日期
2003-09-12
申請人
三菱住友矽晶股份有限公司
發明人
原田和浩
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C30B29/06
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